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透射电镜原位样品杆
原位拉伸台,弯曲台
原位纳米压痕仪
高温台,低温台
纳米机械手系列
电子束光刻系统
氧原子清洗仪
扫描电镜特殊样品台
电路失效分析系统
微操控系统
产品中心
EM-KLEEN 氧原子清洗仪
简介: 氧原子清洗仪不是一个普通意义上的“等离子清洗器”。等离子清洗器为广大电镜工作者所熟知,它利用加速后具有一定能量的离子体轰击样品从而达到清洁样品表面的目的,但同时会刻蚀损坏样品表面形貌。而氧原子清洗仪利用原子氧与碳氢化合物发生反应从而达到清洁样品表面的目的,同时保护样品免受热量和离子的轰击。氧原子与碳氢化合物反应后生成的CO2, CO和H2O分子被真空泵安全排出。
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Tergeo-EM透射样品杆氧原子清洗仪
简介: 氧原子清洗仪不是一个普通意义上的“等离子清洗器”。等离子清洗器为广大电镜工作者所熟知,它利用加速后具有一定能量的离子体轰击样品从而达到清洁样品表面的目的,但同时会刻蚀损坏样品表面形貌。而氧原子清洗仪利用原子氧与碳氢化合物发生反应从而达到清洁样品表面的目的,同时保护样品免受热量和离子的轰击。氧原子与碳氢化合物反应后生成的CO2, CO和H2O分子被真空泵安全排出。
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氧原子清洗仪
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