Axis Pro FC型罩式显微镜微操控系统

 

【Axis Pro FC 总览】

■前置安全玻璃

■可精确移动5μm尺寸的物体
■内置电气转接样品台
■接触到样品后的操作仅需移动鼠标
■程控精密送样系统
■用户友好型设置界面(固定角度的探针臂让设备设置异常简单)

【Axis Pro FC系统配置】

・Axis Pro FC型罩式显微镜微操控系统主机 (Configuration changes depends on specification)
・LED照明单元 (反射式和透射式)
・GigE 相机

・专用 PC (Windows 10 IoT Enterprise for Embedded 64bit)
・21.5 英寸液晶显示器
・专用控制器 (MC-104)
 

可选附件 (Option)

  • ・超精细螺距旋转器 – FIB lift out
  • ・电动微镊子 – 30μm尺寸的抓取 / 剥离
  • ・电动旋转样品台 – 优化样品方向
  • ・2轴电动旋转样品台 – 优化样品(微栅、铜网)方向和送样位置
  • ・机械样品台 – 优化调整刮擦、剪切
  • ・暗场照明 – 区分微痕点和外来物
  • ・对角线照明适配器 – 旋光样品 / 提高对比度

 

Axis Pro FC应用示例

Axis Pro 可结合以下设备使用

  • ・Fourier transform infrared spectrometer (FTIR)
  • ・Micro Fourier transform infrared spectrometer (μFTIR)
  • ・Laser Raman Spectroscopy (μRAMAN)
  • ・X-ray Diffraction (XRD)
  • ・Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
  • ・Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
  • ・Electron Probe Micro Analyzer (EPMA)
  • ・Gas Chromatography – Mass spectrometry(GC/MS)
  • ・Liquid Chromatography – Mass Spectrometry(LC-MS)
  • ・Fourier-Transform Nuclear Magnetic Resonance Spectrometry (FT-NMR)
  • ・Transmission Electron Microscope (TEM)
  • ・Scanning Electron Microscope (SEM)
  • ・Focused Ion Beam (FIB)
  • ・Scanning Probe Microscope (SPM)
  • ・Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS)
AxisProFC
首页    微操控系统    Axis Pro FC型罩式显微镜微操控系统