定量分析型EBIC

PE提供两种EBIC分析版本,定量分析型EBIC和基本型EBIC。
定量分析型EBIC系统拥有丰富的测试和分析功能。它包含一个EBIC测试电路、一个扫描发生器、一个EBIC特制样品夹持器、一个法兰和分析软件。分析软件可进行多种分析,例如:灰度分析、线扫描、点测试、EBIC电流分析等等。
基本型EBIC系统是一个简单的EBIC测试系统。它包含一个EBIC测试电路、一个EBIC特制样品夹持器和一个法兰。 该系统信号输出可连接到电镜“外部”输入接口。利用这个系统,电镜软件可以处理和控制EBIC图像。


 


EBIC系统广泛用于器件或电路的分析,例如:

研究材料性质与器件性能之间的关系

  • 对整个器件的电学活性进行图像观察
  • 区分电活性缺陷和电钝化缺陷
  • 电活性与EDS和EBSD的协同分析

以最高的分辨率定位电缺陷

  • 为TEM或AFM的制样做准备
  • 在FIB或SEM中利用EBIC直接观察样品缺陷,避免转移样品后丢失缺陷位置
  • 在样品切削制备过程中,基于EBIC图像决定停止切削动作

对大面积器件进行结点和缺陷的面扫描

  • 鉴别所有的电活性缺陷
  • 绘制结点和电场的活性区域
  • 确认掺杂情况和区域

基于精准的EBIC信息对材料性质进行分析

  • 测量缺陷对比度/复合强度
  • 提取少数载流子的扩散长度
  • 确定耗尽层的宽度

利用内置的偏压和实时叠加验证器件的运作模式

  • 图像观察分层器件的结点和场
  • 在偏压下绘制太阳能电池的电活性
  • 器件设计模型和实际图像观察的器件工作行为的比较

通过深度剖析得到三维信息

  • 改变SEM的电子束高压以得到不同深度的EBIC信号
  • 研究FIB-SEM中截面的EBIC图像
  • 输出不同深度的EBIC信号以进行3维重构

 

EBIC采集软件:

SE信号和EBIC信号的同时采集:

 

实时伪彩色调制工具:

 

I-V特性曲线:

 

EBIC线扫描:

 

 

性能指标:

  1.  分辨率 <10 pA (depending on the specimen)

  2.  增益粗调 103 … 1010 V/A

  3.  增益细调 0.1 … 100 × 连续地

  4.  输入补偿

  5.  输出补偿

  6.  信号反转

  7.  零平衡

  8.  可调节低通滤波器

  9.  校准用电流源*

  10.  可调节偏压 (+/- 10 V)*

  11.  电镜束流测试输出 (外部)*

  12.  外部锁相放大器的AC-output* 

  13.  图像系统的信号输出 (0 … 1 V)

QuantitativeEBIC
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